歡迎來到上海勇控自動化設備有限公司!
服務熱線:15801922503
產品分類
Cassification
產品展示/ Product display





產品型號:
廠商性質:經銷商
更新時間:2025-11-05
訪 問 量:50
立即咨詢
聯系電話:
BECKHOFF EK1100
EK1122
EK1101
EL1002
EL1004
EL1008
EL1018
倍福 KL9187 作為一款 8 通道電源分配終端模塊,憑借穩定的供電控制能力與高可靠性設計,成為芯片生產場景中的關鍵支撐組件。該模塊支持 24V DC 輸入,每通道輸出電流可達 5A,且具備獨立的過載保護功能,能為芯片生產設備中的傳感器、執行器及小型控制單元提供精準、穩定的電源供給,避免因供電波動導致設備異常。
在抗干擾性能上,KL9187 模塊具備 500V AC 電氣隔離能力,可有效抵御芯片生產車間內高頻等離子設備、高壓電源等產生的電磁干擾,防止電源信號波動影響精密設備運行。其寬溫工作范圍(-25℃~+60℃)適配芯片制造中光刻車間的恒溫環境與封裝車間的溫差變化,確保在不同生產環節均能穩定供電。此外,模塊采用標準化導軌式安裝,寬度僅 12mm,可在芯片生產設備的緊湊型控制柜內實現高密度部署,節省 40% 以上安裝空間,同時支持熱插拔設計,為后期維護提供便利。



二、核心應用場景:賦能芯片生產全流程
1. 光刻環節:保障精密設備穩定供電
在芯片光刻車間,光刻機作為核心設備,其內部的激光定位傳感器、晶圓傳輸機械臂驅動單元對供電穩定性要。KL9187 模塊在此環節承擔電源分配任務,通過 8 個獨立通道分別為光刻機的晶圓定位傳感器(2 個通道)、機械臂驅動電機(3 個通道)及環境監測設備(3 個通道)供電。
模塊每通道的過載保護功能可實時監測電流變化,當某一通道電流超出設定閾值(如傳感器供電通道電流超過 0.5A)時,模塊會立即切斷該通道電源,避免過載損壞設備。同時,其穩定的電壓輸出(波動范圍 ±0.5%)確保激光定位傳感器的定位精度維持在 ±0.1μm,保障晶圓光刻圖案的準確性。某芯片制造企業引入 KL9187 模塊后,光刻機因供電問題導致的停機次數從每月 3 次降至 0 次,光刻良率從 95% 提升至 98.5%,單月減少晶圓報廢損失超 120 萬元。
2. 蝕刻環節:精準控制設備供電邏輯
芯片蝕刻過程中,等離子蝕刻機的氣體流量控制閥門、真空壓力傳感器等設備需按特定時序啟動與運行,KL9187 模塊通過與 PLC 系統聯動,實現對這些設備的精準供電控制。模塊支持通過 EtherCAT 協議與控制系統通信,可根據蝕刻工藝步驟,遠程控制各通道電源的通斷時序,例如在蝕刻開始前,先為真空壓力傳感器供電(通道 1),待壓力達到設定值后,再為氣體流量閥門供電(通道 2-4),確保工藝流程有序進行。
此外,KL9187 模塊的電流監測功能可實時反饋各設備的功耗狀態,當蝕刻機某一氣體閥門電流異常升高(如超過 2A)時,系統可通過模塊數據判斷閥門是否存在卡頓,并及時觸發維護預警。某 12 英寸芯片蝕刻車間應用 KL9187 模塊后,蝕刻設備的平均運行時間從 800 小時提升至 1200 小時,蝕刻工藝參數達標率從 96% 提升至 99.2%。
3. 封裝測試環節:優化多設備供電管理
在芯片封裝測試環節,封裝機的引線鍵合單元、測試設備的探針臺均需獨立且穩定的電源供給。KL9187 模塊通過 8 通道電源分配,分別為封裝機的鍵合電機(2 個通道,每通道電流 3A)、溫度傳感器(2 個通道)及探針臺的探針驅動單元(4 個通道)供電,實現多設備供電的集中管理。
模塊的獨立通道設計可避免設備間供電干擾,例如探針臺探針驅動單元的瞬時電流波動(最高 3A)不會影響封裝機溫度傳感器的供電穩定性(工作電流 0.2A),確保封裝溫度控制精度維持在 ±1℃,鍵合壓力誤差控制在 ±5g。同時,模塊的狀態指示燈可實時顯示各通道供電狀態
WAGO也有現貨
WAGO 750-333
萬可750-455
萬可750-1405
WAGO 750-555

聯系電話:15801922503

聯系郵箱:278081405@qq.com

公司地址:上海市寶山區
Copyright © 2025 上海勇控自動化設備有限公司版權所有 備案號:滬ICP備17010722號-2 技術支持:化工儀器網